Mo源存儲(chǔ)在不銹鋼鼓泡瓶(MO Bubb1er)中,多為液態(tài),通過載氣流經(jīng)源瓶時(shí)將蒸發(fā)的蒸氣攜帶到反應(yīng)室。Mo源的供應(yīng)流程一般從載氣經(jīng)MFC進(jìn)入源瓶?jī)?nèi)的入口端開始,A1109AS-H-2R2N入口端會(huì)低于源瓶?jī)?nèi)的液面,這樣通過載氣鼓泡就可使Mo源有效蒸發(fā),從源瓶?jī)?nèi)出氣的瓶?jī)?nèi)端口會(huì)高出液面,以便充分通暢地帶走己蒸發(fā)的Mo源蒸氣。經(jīng)壓力控制計(jì)后,Mo 源會(huì)經(jīng)RuⅣ吮nt閥組,運(yùn)送到反應(yīng)腔或直接到尾氣系統(tǒng)。從Mo源瓶帶出的氣源有效量由流經(jīng)Mo源瓶的載氣流量、MO源瓶溫度和瓶?jī)?nèi)壓力決定。在實(shí)際生產(chǎn)中,從源瓶出口到反應(yīng)腔入口處,會(huì)配置加熱系統(tǒng)對(duì)管線進(jìn)行加熱,以避免源在管線中凝聚甚至阻塞管道。