氣相外延本質上是一種化學氣相沉積,是將含有構成外延薄膜元素的氣態(tài)前驅物或液態(tài)前驅物的蒸汽通過載氣傳輸到反應室內,在維持一定高溫的襯底表面上H9DP32A4JJACGR-KEM通過熱分解與化學反應生成薄膜的過程。化學氣相沉積的機理示意圖如圖5-10所示,沉積過程主要包括

   以下步驟:

   ①氣相前驅物隨載氣(一般為超純N2或超純H2)傳送至沉積區(qū)域;

   ②前驅物通過氣流邊界層擴散到襯底表面;

   ③前驅物在襯底表面吸附;

   ④表面化學反應,包括前驅物化學分解,表面遷移和目標產物成核生長;

   ⑤副產物從襯底表面脫附(解吸附);

   ⑥副產物擴散至邊界層并進入主氣流并被載氣帶出沉積區(qū)域。