硅是金剛石結(jié)構(gòu)晶胞,是由兩套面心立方格子套構(gòu)而成的復(fù)式格

子,面心立方格子屬于立方晶系。G1117T63UF所以,以簡立方晶格為基礎(chǔ)來標(biāo)記晶向、晶面。晶向的表示方法如圖⒈3所示,以格點O為原點,坐標(biāo)軸J,γ,z和晶胞的3個邊(晶軸)重合,C,R為連接晶列中相鄰格點的一矢量,它在J,y,z方向上的分量相等,都等于晶格常數(shù)仍,如以曰為單位,則有P/zl=9,z=PPz,=',o⒋方向晶列的晶向指數(shù)就為E111彐。實際上,[111彐就是立方對角線的方向,這個方向共有8個等價方向,即還有 丫E111]、E1】1]、E111]、E111]、[111彐、E111]、[111彐,可以用〈111〉來概括表示這族等價方向。同理,OB方向晶列的晶向指數(shù)為E110],〈110〉晶向 共有12個等價方向;OC方向晶列的晶向指數(shù)為匚100],〈100〉晶向也共有6個等價方向。在集成電路工藝中硅的常用晶向分別為E111彐、E110彐、E100彐晶向。

   對于簡立方晶格,如圖⒈4所示是立方晶系的幾種主要晶面。不難看出圖⒈4中陰影所示的3個晶面分別為(100)、(110)和(111)晶面。由晶格的對稱性,有些晶面是彼此等效的,如晶面(100)有6種等效晶面,即還有(100)、(010)、(010)、(001)、(001),記為{100)晶面族;晶面(110)有12種等效晶面,記為(110)晶面族;晶面(111)有8種等效晶面,記為(111)晶面族。在集成電路工藝中硅片常采用的晶面有3種類型,即(111)、(110)、(100)晶面。