表征光刻膠性質(zhì)的量有下面幾個(gè)。

   1 響應(yīng)波長(zhǎng)

   響應(yīng)波長(zhǎng)是能使光刻膠結(jié)構(gòu)發(fā)生變化的光(或射線)的波長(zhǎng)。為了提高光學(xué)光刻的分辨率,光刻S-1200B33-M5T1G膠在向短波方向發(fā)展。

   汞燈作為光源時(shí)所用膠的響應(yīng)波長(zhǎng)是紫光,400~550nm;氙-汞燈作為光源采用近紫外膠,響應(yīng)波長(zhǎng)在360nm附近;190nm的極紫外光刻膠正在研究之中。電子束光刻膠對(duì)電子束有響應(yīng)。

   2靈敏度

   光刻膠的靈敏度是指單位面積上人射的使光刻膠全部發(fā)生反應(yīng)的最小光能量或最小電荷量(對(duì)電子束膠)。靈敏度以毫焦每平方厘米(Ⅱ刂/cnl9)為單位。提供給光刻膠的光能量值通常稱為曝光量。靈敏度越高,需要的光(或射線)能量越少,曝光時(shí)間越短。靈敏度太低會(huì)影響生產(chǎn)效率,所以通常希望光刻膠有較高的靈敏度。但靈敏度太高會(huì)影響分辨率。負(fù)膠的靈敏度高于正膠。

   3抗蝕性

   光刻膠膠膜必須保持它的黏附性,并在后續(xù)的濕刻和干刻中保護(hù)襯底表面。這種性質(zhì)稱為抗蝕性。一些干法刻蝕工藝要在高溫(如150℃)下完成,這需要光刻膠具有熱穩(wěn)定性以保持其形狀�？�蝕性越強(qiáng),光刻膠性能越好。

   4黏滯性

   對(duì)于液體光刻膠來(lái)說(shuō),黏滯性是評(píng)價(jià)其流動(dòng)特性的定量指標(biāo)。黏滯性與時(shí)間相關(guān),因?yàn)樗鼤?huì)在使用中隨著光刻膠中溶劑的揮發(fā)而增加。黏滯性非常重要,因?yàn)楣杵砻婢哂懈鞣N形貌(如臺(tái)階和狹縫),在這些地方,它會(huì)影響光刻膠的厚度和均勻性。隨著黏滯性的增加,光刻膠流動(dòng)的趨勢(shì)變小,它在硅片上的厚度增加,分辨率下降,但是抗蝕性增強(qiáng)。因此,選擇膠的黏度時(shí)應(yīng)根據(jù)需要來(lái)確定。

   5黏附性

   光刻膠的黏附性描述了光刻膠黏著于襯底的強(qiáng)度。光刻膠必須黏附于許多不同類型的表面,包括硅、多晶硅、二氧化硅(摻雜的和未摻雜的)、氮化硅和不同的金屬。光刻膠黏附性的不足會(huì)導(dǎo)致硅片表面上的圖形變形。光刻膠的黏附性必須保證光刻膠經(jīng)受住曝光、顯影和后續(xù)的工藝(如刻蝕和離子注人)條件。