光刻膠的純凈度與光刻膠中的微粒數(shù)量和金屬含量有關(guān)。為了滿足對(duì)光刻膠中微粒數(shù)蚩的控制,光刻膠在生產(chǎn)的過程中需要經(jīng)過嚴(yán)格的過濾和超凈的包裝。通過嚴(yán)格的過濾和超凈的包裝,可以得到高純度的光刻膠。SBJ160808T-252Y-N此外,即便得到了高純度的光刻膠,在使用前仍然需要進(jìn)行過濾。岡為即便在生產(chǎn)的過程中光刻膠已經(jīng)經(jīng)過了過濾和密封包裝,隨著存儲(chǔ)時(shí)間的增加,光刻膠中的微粒數(shù)童還會(huì)繼續(xù)增加。過濾的精度越高,相應(yīng)的成本也越高。光刻膠的過濾通常是在干燥的惰性氣體(如氮?dú)?中進(jìn)行的。根據(jù)需要選擇過濾的級(jí)別,一般直徑在O。1um以上的微粒都需要除去。

   光刻膠的金屬含量主要是指鈉和鉀在光刻膠中的含且:囚為光刻膠中的鈉和鉀會(huì)帶來污染-降低器件的性能。通常要求光刻膠的金屬含量越低越好,特別是鈉需要達(dá)到五十萬分之一原子。這種低濃度的鈉和鉀可以通過原子吸收光譜分光光度計(jì)來測量。

   儲(chǔ)存壽命

   光刻膠中的成分會(huì)隨時(shí)間和溫度而發(fā)生變化。通常負(fù)膠的儲(chǔ)存壽命比正膠短(負(fù)膠易于自動(dòng)聚合成膠化團(tuán))。從熱敏性和老化情況來看,DQN正膠在封閉條件下儲(chǔ)存是比較穩(wěn)定的。如果儲(chǔ)存得當(dāng),DQN正膠可以保存6~12個(gè)月。在存儲(chǔ)期間,由于交叉鏈接的作用,DQN正膠中的高分子成分會(huì)增加,這時(shí)DQN感光劑不再可溶,而是結(jié)晶成沉淀物。另外,如果保存在高溫的條件下,光刻膠也會(huì)發(fā)生交叉鏈接。這兩種因素都增加了光刻膠中微粒的濃度,所以光刻膠在使用前需要經(jīng)過過濾。采用適當(dāng)?shù)倪\(yùn)輸和存儲(chǔ)手段,在特定的條件下保存以及使用前對(duì)光刻膠進(jìn)行過濾,這都有利于解決光刻膠的老化問題。