響應(yīng)波長(zhǎng)在紫光和近、中、遠(yuǎn)紫外線的光刻膠稱(chēng)為光學(xué)光刻膠。其中紫光和近紫外線正、負(fù)膠有SC16-1000多種,用途非常廣泛。用于遠(yuǎn)紫外線的膠目前多還處在研究階段。圖10-10為正膠和負(fù)膠進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的示意圖。

   正膠是目前在集成光學(xué)光刻中用得最多的膠。用于正版光刻,曝光后,窗口處的膠膜被顯影液除去,如圖10△1所示。  

當(dāng)前常用的正膠為DQN,組成為光敏劑的重氮醌(DQ)、堿溶性的酚醛樹(shù)脂(N)和溶劑二甲苯等。響應(yīng)波長(zhǎng)330~430nm,膠膜厚1~3um,顯影液是氫氧化鈉等堿性物質(zhì)。曝光的重氮醌退化,與樹(shù)脂一同易溶于顯影液,未曝光的重氮醌和樹(shù)脂構(gòu)成的膠膜難溶于堿性顯影液。但是,如果顯影時(shí)問(wèn)過(guò)長(zhǎng),膠膜均溶于顯影液,所以,用正膠光刻要控制好工藝條件。

   正膠,曝光部分發(fā)生了光化學(xué)反應(yīng),未曝光部分無(wú)變化,因此顯影容易,且圖形邊緣齊整,無(wú)溶脹現(xiàn)象,光刻的分辨率高。目前這種膠的分辨率在0.25um以上。光刻最后的去膠也較容易。