我們?cè)谇懊嬉呀?jīng)講到,離軸照明可以提高對(duì)密集圖形的I藝窗口。對(duì)于空間周期p在0.5^/NA與^/NA之問的圖形有著不錯(cuò)的工藝窗口。

   離軸照明所形成的兩束光(零級(jí)和1級(jí)或者-1級(jí))成像可以使得空間周期夕在0.5λ/NA與^/NA之間的圖形曝光成為可能。UC3573D也就是說,上述圖形的空間像對(duì)比度(image∞ntrast)或者能量寬裕度(Exposure I'atitude,EI')會(huì)被大大提升。離軸照明的另一個(gè)好處是對(duì)焦深度,即焦深(Depth of Focus,D(,F)也會(huì)被大大加強(qiáng)。早期使用離軸照明的研究請(qǐng)見文獻(xiàn)E46~48],當(dāng)我們使用傳統(tǒng)照明方式,即人射光垂直于掩膜版平面,我們將獲得三束光成像的情況。注意到在焦點(diǎn)上,0級(jí)和+1級(jí)、-1級(jí)的相位都相等。不過在離焦的位置上(圖7.87中的虛線),由于±1級(jí)衍射光走過的距離同軸上的O級(jí)衍射光不同,當(dāng)離焦達(dá)到一定的程度,O級(jí)和+1級(jí)、-1級(jí)的相位會(huì)變得相反,這樣的對(duì)焦深度是有限的。但是如果我們選擇斜人射,可以看出,對(duì)于空問周期夕在0,5^/NA與^/NA之間的圖形,進(jìn)入光瞳的衍射級(jí)只可能有兩級(jí)。如果我們精確調(diào)節(jié)入射角,使得1級(jí)衍射光和零級(jí)衍射光之間相對(duì)豎直的光軸的夾角相等,那么隨便離焦等于什么,這兩束光在光軸上任何一點(diǎn)上的相位都相等,或者焦深等于無窮大。不過,我們不可能使用完全相干的光,一定大小的部分相干性會(huì)導(dǎo)致焦深的迅速縮小,至刂達(dá)正常狀態(tài)。