另外,機(jī)械手在搬運(yùn)晶圓過程中,還具有以下特點(diǎn)。

   (1)機(jī)械手每隔一個生產(chǎn)周期重復(fù)一組相同的機(jī)械手活動序列,每個周期中僅有一個晶圓進(jìn)入, NCP1230D65R2G并且有一個晶圓離開裝備。

   (2)在生產(chǎn)周期內(nèi),機(jī)械手在每個工序中所執(zhí)行的卸載和裝載活動僅發(fā)生一次。

   以上系統(tǒng)是一類典型循環(huán)加工的制造單元。制造單元重復(fù)一次相同狀態(tài)的時間長度為生產(chǎn)周期,也就是生產(chǎn)節(jié)拍,直接決定著系統(tǒng)的產(chǎn)能和效率。這種循環(huán)式生產(chǎn)方式容易理解和實(shí)現(xiàn),并且易于控制,因此在工業(yè)界得到廣泛應(yīng)用田。這類問題的調(diào)度和規(guī)劃目標(biāo)是

確定機(jī)械手活動序列(搬運(yùn)作業(yè))以使生產(chǎn)周期最小化,問題的時序約束條件(以下簡稱約束)包括如下。

   (1)機(jī)械手能力約束,同一時間內(nèi)機(jī)械手只能搬運(yùn)一個晶圓。

   (2)加工模塊能力約束,機(jī)械手從加工模塊卸載晶圓和裝載晶圓到加工模塊的活動受力口工時間限制。

   (3)并行模塊約束,每周期只有一個加工模塊參與機(jī)械手卸載和裝載活動。

   (4)重入模塊約束,機(jī)械手活動不能發(fā)生時序沖突。