簡(jiǎn)言之,校準(zhǔn)是確立傳感器精度的過(guò)程。一個(gè)正確的校準(zhǔn)程序確保了傳感器的讀數(shù)符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),并在需要時(shí)進(jìn)行讀數(shù)修正。理想的智能傳感器在內(nèi)部執(zhí)行修正,以提供便于轉(zhuǎn)換的輸出信號(hào)。因此,校準(zhǔn)和修正數(shù)據(jù)被存儲(chǔ)在傳感器的非易失性存儲(chǔ)器中,例如,以傳感器電子數(shù)據(jù)表的形式(TEDS)。然而與校準(zhǔn)有關(guān)的費(fèi)用是智能傳感器生產(chǎn)成本的重要組成部分,有時(shí)可以通過(guò)一些技術(shù)來(lái)降低,例如晶圓級(jí)校準(zhǔn)、批量校準(zhǔn)或者分類(lèi)等。

DEA202450BT-2038A1

   自校準(zhǔn)是一個(gè)術(shù)語(yǔ),定義為使用一整套技術(shù)、通過(guò)增加傳感器的智能性來(lái)提高其精度。例如,自校準(zhǔn)的第一種形式是附加傳感器的共集成,來(lái)補(bǔ)償交叉靈敏度。如果一個(gè)精確的激勵(lì)器能夠制造出來(lái),用來(lái)在芯片中產(chǎn)生一個(gè)參考信號(hào),比 如可以用來(lái)校準(zhǔn)傳感器的靈敏度。從而,是由激勵(lì)器而不是傳感器來(lái)決定`總體的精度。有一個(gè)例子是零位平衡結(jié)構(gòu),在反饋環(huán)路中使用激勵(lì)器使得傳感器的輸入為零。這種方法的一個(gè)重要優(yōu)點(diǎn)是,傳感器靈敏度和線(xiàn)性度的誤差被環(huán)路增益減弱。一個(gè)調(diào)制的激勵(lì)器能夠用來(lái)周期性屏蔽輸人信號(hào),以測(cè)試和減去它的偏移誤差和低頻噪聲。最后,激勵(lì)器合并到帶有額外傳感器的反饋回路,可以用來(lái)為傳感器的運(yùn)行創(chuàng)造穩(wěn)定的環(huán)境。因此,傳感器運(yùn)行的最佳條件能夠得以實(shí)現(xiàn),并使傳感器遠(yuǎn)離環(huán)境變化的影響。然而,因?yàn)榭勺匪菪缘男枨?這樣一個(gè)自校準(zhǔn)的技術(shù)不能替代真的校準(zhǔn)過(guò)程,但它們可以減少所需要的校準(zhǔn)點(diǎn)的數(shù)目,并且延長(zhǎng)校準(zhǔn)的時(shí)間間隔。