晶圓表面的顆粒大小可由從約50um大變化到小于1um。大的顆�？捎脗鹘y(tǒng)的化學(xué)浸泡池和相應(yīng)的清水沖洗除去。OP262GS較小的顆粒被幾種很強的力量吸附在表面,所以很難除去。一種是范德華吸引力,它是由―個原子中的電子和另一個原子的核之間形成的很強的原子間吸引力。盡量減小這種靜電引力的技術(shù)是控制垂直電勢的變量。垂直電勢是在顆粒周圍的帶電區(qū)與清潔液中帶相反電荷的帶電區(qū)域形成平衡的 平衡電勢。該電勢隨著速度(當晶圓在清洗池中移動時清洗液的相對移動速度)、溶液的pH值和溶液中電解質(zhì)的濃度變化而變化的。同時,它還會受到清洗液中的添加劑,如表面活性劑的影響�？梢酝ㄟ^設(shè)定這些條件來得到與晶圓表面相同電性的較大電勢,從而產(chǎn)生排斥作用,使得顆粒從晶圓表面脫落而保留在溶液中。

   表面張力引力是另外一個問題。它產(chǎn)生了顆粒與表面之間形成的液體橋,如圖3.8所示。表面張力引力可以比范德華引力大。表面活性劑或一些機械的輔助(如超聲波)被用來去除表面的這些顆粒。