氧化層生長的化學(xué)成分似乎對NBTI效應(yīng)有著明顯的影響,氧化氣氛明顯地影響了NBTI效應(yīng),濕氧比干氧有著更差的NBTI性能,但是氟改善了這種效應(yīng),F注入或F在柵氧中的濃度明顯地改善了NBTI性能和1r噪聲。OF400SA100D但是,必須小心地使用F注入,因為可能會出現(xiàn)一些有害的影響,比如增強硼穿通或使nMOs性能退化。硼會促進NBTI退化的發(fā)生。

   如前所述,氧化層介質(zhì)電場對NBTI敏感度有明顯的影響,埋溝器件減小了BTI效應(yīng),但不適用于先進的CMOs工藝。希望通過采用中間的功函數(shù)柵材料來減小NBTI敏感度,因為由于功函數(shù)的差別和由于平帶電壓的差別(低溝道摻雜濃度),氧化層電場將被減小。基于這些觀點,采用全耗盡SC,I可以改善NBTI效應(yīng),因為它使用了低摻雜的溝道區(qū),從而導(dǎo)致較低的柵氧化層的電場,進而改進了NBTI效應(yīng)。