FOundγ線質(zhì)量管理體系的評(píng)價(jià)
發(fā)布時(shí)間:2016/6/27 22:32:11 訪問次數(shù):481
通過設(shè)計(jì)可靠性測(cè)試芯片,采用MPW投片方式,分別對(duì)A公司和B公司的0.18um cMOs工藝線的HCI效應(yīng)的可靠性進(jìn)行了評(píng)估。失效判據(jù)分別是跨導(dǎo)、BP3319M飽和漏極電流的退化和閾值電壓的漂移。通過模型參數(shù)的提取,計(jì)算出了累計(jì)失效率為0。l%時(shí)的壽命。
相同廠家相同工藝不同批次的失效機(jī)理的可靠性。對(duì)A公司兩個(gè)批次的0.18um cMOs工藝HCI效應(yīng)壽命進(jìn)行了測(cè)量,柵氧厚度均是3.2nm,器件的寬長(zhǎng)比均是50△,測(cè)量結(jié)果如表7.9所示。兩次的測(cè)量結(jié)果表明,HCI效應(yīng)的壽命并無明變化,工藝控制比較穩(wěn)定,但測(cè)量結(jié)果達(dá)不到室溫環(huán)境條件下壽命大于0.2年的要求。
通過設(shè)計(jì)可靠性測(cè)試芯片,采用MPW投片方式,分別對(duì)A公司和B公司的0.18um cMOs工藝線的HCI效應(yīng)的可靠性進(jìn)行了評(píng)估。失效判據(jù)分別是跨導(dǎo)、BP3319M飽和漏極電流的退化和閾值電壓的漂移。通過模型參數(shù)的提取,計(jì)算出了累計(jì)失效率為0。l%時(shí)的壽命。
相同廠家相同工藝不同批次的失效機(jī)理的可靠性。對(duì)A公司兩個(gè)批次的0.18um cMOs工藝HCI效應(yīng)壽命進(jìn)行了測(cè)量,柵氧厚度均是3.2nm,器件的寬長(zhǎng)比均是50△,測(cè)量結(jié)果如表7.9所示。兩次的測(cè)量結(jié)果表明,HCI效應(yīng)的壽命并無明變化,工藝控制比較穩(wěn)定,但測(cè)量結(jié)果達(dá)不到室溫環(huán)境條件下壽命大于0.2年的要求。
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