到達(dá)角是指反應(yīng)劑能夠從各方向到達(dá)表面的某一點(diǎn),這全部方向角就是該點(diǎn)的到達(dá)角。 ON9658給出了幾個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)的二維空間的到達(dá)角,A點(diǎn)是180°,B點(diǎn)是270°,C點(diǎn)是90°。至刂達(dá)角越大,能夠到達(dá)該點(diǎn)的反應(yīng)劑分子(或原子團(tuán))數(shù)量就越多,該點(diǎn)淀積的薄膜就越厚。圖75(bl非保形覆蓋中的B點(diǎn)淀積的薄膜就比C點(diǎn)厚,這兩點(diǎn)二維空間的到達(dá)角之比為3:1。

   邊界層厚度主要受氣體壓力和氣流狀態(tài)(或流速)等因素影響。常壓淀積,在氣體為層流狀態(tài)時(shí),同一襯底表面的孔洞或溝槽內(nèi)部氣體邊界層比平坦部位要厚,深寬比越大的孔洞或溝槽內(nèi)部的邊界層就越厚。而氣體分子常壓時(shí)的平均自由程很小(約為10δcm),分子之間的相互碰撞使得它們的速度矢量完全隨機(jī)化。所以,在孔洞或溝槽內(nèi)部,特別是底部角落位置的表面反應(yīng)劑氣體濃度較低,該點(diǎn)淀積的薄膜就薄,如圖⒎5(b)非保形覆蓋中的C點(diǎn)。

    低壓淀積,氣體仍為層流狀態(tài),邊界層比常壓時(shí)要厚,而當(dāng)反應(yīng)器內(nèi)真空度足夠高,反應(yīng)劑原子或分子的平均自由程與孔洞或溝槽的深度相當(dāng)時(shí),反應(yīng)劑可以直接穿越邊界層人射到孔洞或溝槽底,這時(shí)影響表面反應(yīng)劑濃度的除了與同一襯底不同位置的到達(dá)角有關(guān)外,還與遮蔽效應(yīng)有關(guān)。由于氣體分子自由程較長(zhǎng),分子之間碰撞概率降低,使得氣體分子的速度矢量不再隨機(jī)化,而遮蔽效應(yīng)(s腕do- 誦ng)指的就是襯底表面上的圖形對(duì)反應(yīng)劑氣體分子直線運(yùn)動(dòng)的阻擋作用。如圖75(b)非保形覆蓋中的D點(diǎn),由于遮蔽效應(yīng)能直接人射到D點(diǎn)的入射角為汐,遠(yuǎn)小于平面部位(如A點(diǎn)的入射角是180°)。深寬比越大,孔洞或溝槽內(nèi)部D點(diǎn)的人射角汐越小,遮蔽效應(yīng)就越嚴(yán)重。