多種類型晶圓混合加工是為了達(dá)到快速響應(yīng)顧客需求和緩解行業(yè)競爭的目的,工業(yè)界將小批量、NCP1014AP065G多類型晶圓安排在同一批次內(nèi)加工�；炝髡{(diào)度是指按照周期性生產(chǎn)方法,調(diào)度系統(tǒng)在一個調(diào)度周期內(nèi)合理安排有多種不同類型的晶圓進(jìn)入和離開集束型裝備。此類優(yōu)化調(diào)度問題的核心就是有效統(tǒng)籌優(yōu)化兩個子問題:優(yōu)化調(diào)度多種不同類型晶圓的加工順序問題和機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)順序問題。在滿足晶圓加工工藝的前提下,通過優(yōu)化調(diào)度晶圓的加工順序和機(jī)器人作業(yè)順序,能夠保證平準(zhǔn)化和均衡化生產(chǎn),從而在品種和數(shù)量上實混流加工,這樣不但可以起到對市場小批量多品種需求的快速反應(yīng)和滿足功能,而且對于提高生產(chǎn)線整體效率和產(chǎn)品交付率、提升生產(chǎn)管理水平及降低生產(chǎn)成本等方面也至關(guān)重要囫。

   本章針對具有單臂機(jī)械手集束型裝備的重入調(diào)度問題進(jìn)行研究,分別對加工模塊能力、機(jī)械手能力、重入模塊等時序約束關(guān)系進(jìn)行分析,給出了問題的混合整數(shù)規(guī)劃模型;針對同時考慮晶圓加工排序和機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)排序的混流調(diào)度問題,給出了問題的混合整數(shù)規(guī)劃模型。