替代一期油泵的是干機(jī)械泵( dry mechanical pump)。由于油吸附尾氣，油基泵是一AD8065ART-REEL個(gè)污染源有毒氣體引出r特別的安全問題。干泵是基于羅茨式泵“roots”設(shè)計(jì)的。這些螺旋式或凸輪式( claw)設(shè)計(jì)，機(jī)械地“攫取”(grab)氣體，從而在高真空泵接替之前降低反應(yīng)竄的壓力.

   渦輪分子高真空泵

   渦輪分F泵在設(shè)計(jì)卜與噴氣式琶機(jī)渦輪引擎    至真空室相似，帶有殲f 1的一系列時(shí)片（見圖13. 20）在中心軸}：高速旋轉(zhuǎn)”( 24 000~36 000 rpm)．j來自反應(yīng)窄的氣體遇到第一個(gè)葉片的，然后與旋轉(zhuǎn)中的葉片碰撞獲得動(dòng)餐：，動(dòng)量的方向是向下指向下一個(gè)葉片的，相同的情況重復(fù)發(fā)生。，這個(gè)循環(huán)的結(jié)果使氣體從反應(yīng)窄排出。這個(gè)動(dòng)量轉(zhuǎn)移的作用與油擴(kuò)散泵抽氣原理一樣、渦輪分子泵的主要優(yōu)點(diǎn)是沒有油的凹流，無須再填充油，其他優(yōu)點(diǎn)是高，靠件且可使壓力降至高真空范圍。它的缺點(diǎn)是L／

相比油擴(kuò)散泵和低溫泵抽氣速率較低，而且由于高速旋轉(zhuǎn)cff容易產(chǎn)牛振動(dòng)和磨損。渦輪泵的附帶    圖13. 20渦輪分子泵的原理

泉是拖曳式( drag type)泵．氣體分子被轉(zhuǎn)筒或轉(zhuǎn)盤彈出，而不是動(dòng)葉片或靜葉片的作用結(jié)果IS.

   這些組合( combination)泵可以在高氣壓下排氣。用于腐蝕性氣體[藝的渦輪泵要求在轉(zhuǎn)子和定子有涂層和／或給泵加熱，阻止氣體形成能夠淀積在泵部件的固態(tài)顆粒.