低七介質(zhì)的缺陷源
發(fā)布時間:2015/11/11 19:06:25 訪問次數(shù):393
自動晶圓表面檢查的另一個優(yōu)勢是將不同的技術(shù)結(jié)合在同一檢查設(shè)備中。一個采HCPL-181-00BE樣覆蓋散射儀、橢圓偏振儀、反射儀與表面形貌分析一起提供表面情況的綜合評估。缺陷、厚度均勻性和表面情況能夠在一個檢測臺上被確定¨5。
銅或低露介質(zhì)結(jié)合的開發(fā)對工藝已引入全新的主缺陷。161。圖14. 27列出了和金屬系統(tǒng)相關(guān)的缺陷樣品。
自動晶圓表面檢查的另一個優(yōu)勢是將不同的技術(shù)結(jié)合在同一檢查設(shè)備中。一個采HCPL-181-00BE樣覆蓋散射儀、橢圓偏振儀、反射儀與表面形貌分析一起提供表面情況的綜合評估。缺陷、厚度均勻性和表面情況能夠在一個檢測臺上被確定¨5。
銅或低露介質(zhì)結(jié)合的開發(fā)對工藝已引入全新的主缺陷。161。圖14. 27列出了和金屬系統(tǒng)相關(guān)的缺陷樣品。
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