光干涉法。光干涉TC1185-3.3VCT713法需要將氧化膜腐蝕出一個(gè)斜面,用黑蠟或真空油脂保護(hù)一定區(qū)域,然后放入HF酸中將未被保護(hù)的S⒑2層腐蝕掉,最后再用有機(jī)溶劑去掉黑蠟或真空油脂,于是就出現(xiàn)s⒑2臺(tái)階,如圖2.4所示,光干涉法比較適合測(cè)量厚度在⒛Onm以上的氧化膜。

   用短波長(zhǎng)的單色光垂直入射至斜面處,由于從⒐α層表面及從s√S⒑2界面反射的兩束光的干涉作用,臺(tái)階處出現(xiàn)黑暗相間的條紋,用顯微鏡觀察斜面處的干涉條紋數(shù)(可讀到半條)。根據(jù)條紋的個(gè)數(shù)即可計(jì)算出膜的厚度,氧化膜厚度的計(jì)算公式如下:

   橢偏光法。橢偏光法是用橢圓偏振光照射被測(cè)樣品,觀察反射光偏振狀態(tài)的改變,從而測(cè)出膜的厚度。橢偏光法測(cè)量精度高達(dá)10A,且可同時(shí)測(cè)出薄膜的折射率,它還是一種非破壞性的測(cè)量方法。