為了在微環(huán)境包圍的工藝設(shè)備之間轉(zhuǎn)移硅片,使用一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化的容器密封和傳送整架的硅片。OP2177AR-REEL7這個(gè)容器與各種設(shè)備具有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口,它最初是由惠普公司開(kāi)發(fā)并制作成型的。當(dāng)把一個(gè)容器提交給一臺(tái)設(shè)備時(shí),設(shè)備中的機(jī)器人自動(dòng)開(kāi)啟容器門(mén),移走片架。標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口系統(tǒng)能加入到現(xiàn)有的設(shè)備中,或者完全集成到設(shè)各附件中。

   在3OOmm的硅片工藝中,片架和容器是合二為一的,允許硅片直接從容器中處理。這個(gè)新式的容器稱為前開(kāi)口片盒(Front-Opcning UniⅡcd Pod,FOUP)。完全進(jìn)行自動(dòng)處理而不需要人工傳送硅片容器。標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口完全集成到設(shè)備中。微環(huán)境的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是可以控制分子沾污。硅片在裝載、卸載和傳送時(shí),通過(guò)惰

性的氮?dú)獯迪磁c分子沾污隔離開(kāi)來(lái),這種控制在巨大的凈化間內(nèi)更難獲得。微環(huán)境通過(guò)氮?dú)獯迪匆矞p少了硅片對(duì)水蒸氣的暴露,這對(duì)抑制自然氧化層生長(zhǎng)有利。